電極、干蝕刻設(shè)備和制造電極的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110984975.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113436956A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113436956A 申請公布日 2021-09-24
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L21/3065（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡廣云;黃來國;權(quán)太植;金珉成;陶源;顧為飛 申請（專利權(quán)）人 合肥微?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 王茂華
地址 430073湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)東信路SBI創(chuàng)業(yè)街3棟2單元5層03號（自貿(mào)區(qū)武漢片區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種電極、干蝕刻設(shè)備和制造電極的方法。電極包括：鋁基板（12），包括反應(yīng)性氣體的入口側(cè)表面（13）和與入口側(cè)表面（13）相對的反應(yīng)性氣體的出口側(cè)表面（15），其中鋁基板（12）還包括從入口側(cè)表面延伸至出口側(cè)表面（15）的多個均勻分布的貫通孔，貫通孔包括進氣通道和與進氣通道連通的安裝孔（17）；以及多個嵌入體，每個嵌入體（14）由陶瓷制成并且從出口側(cè)表面（15）被嵌入安裝至安裝孔，其中每個嵌入體（14）包括出氣通道，出氣通道與進氣通道連通以使得來自入口側(cè)表面的反應(yīng)性氣體進入進氣通道并且通過出氣通道而離開出口側(cè)表面。根據(jù)本申請的電極能夠顯著提高電極的耐久性進而提高使用壽命。