制造多色發(fā)光像素單元的方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202080063264.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN114730815A | 公開(公告)日 | 2022-07-08 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN114730815A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-08 |
分類號(hào) | H01L33/00(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | Q·李;Q·徐 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 上海顯耀顯示科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京坤瑞律師事務(wù)所 | 代理人 | - |
地址 | 200120上海市浦東新區(qū)鴻音路1889號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種用于制造多色發(fā)光像素單元的方法,包括:在基板上形成堆疊結(jié)構(gòu),所述堆疊結(jié)構(gòu)按從下至上的順序包括第一金屬層、第一類型的發(fā)光層、第二金屬層和第二類型的發(fā)光層;對(duì)所述第二類型的發(fā)光層和所述第二金屬層進(jìn)行圖案化,直到暴露所述第一類型的發(fā)光層的一部分為止;以及選擇性地刻蝕所述堆疊結(jié)構(gòu)以形成第一發(fā)光晶體管和第二發(fā)光晶體管,所述第一發(fā)光晶體管包括所述第一金屬層和所述第一類型的發(fā)光層,并且所述第二發(fā)光晶體管包括所述第一金屬層、所述第一類型的發(fā)光層、所述第二金屬層和所述第二類型的發(fā)光層。 |
