制造多色發(fā)光像素單元的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202080063264.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114730815A 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN114730815A 申請公布日 2022-07-08
分類號 H01L33/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 Q·李;Q·徐 申請（專利權(quán)）人 上海顯耀顯示科技有限公司
代理機構(gòu) 北京坤瑞律師事務(wù)所 代理人 -
地址 200120上海市浦東新區(qū)鴻音路1889號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于制造多色發(fā)光像素單元的方法，包括：在基板上形成堆疊結(jié)構(gòu)，所述堆疊結(jié)構(gòu)按從下至上的順序包括第一金屬層、第一類型的發(fā)光層、第二金屬層和第二類型的發(fā)光層；對所述第二類型的發(fā)光層和所述第二金屬層進行圖案化，直到暴露所述第一類型的發(fā)光層的一部分為止；以及選擇性地刻蝕所述堆疊結(jié)構(gòu)以形成第一發(fā)光晶體管和第二發(fā)光晶體管，所述第一發(fā)光晶體管包括所述第一金屬層和所述第一類型的發(fā)光層，并且所述第二發(fā)光晶體管包括所述第一金屬層、所述第一類型的發(fā)光層、所述第二金屬層和所述第二類型的發(fā)光層。