晶圓上一開關(guān)元器件的電氣特性測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121413503.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215415735U 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN215415735U 申請公布日 2022-01-04
分類號 G01R31/26（2014.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 林氦;鄧志江;盛況;郭清 申請（專利權(quán)）人 紹興市科技創(chuàng)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 楊舟濤
地址 312000浙江省紹興市越城區(qū)皋埠街道銀橋路326號4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶圓上一開關(guān)元器件的電氣特性測試裝置結(jié)構(gòu)，涉及晶圓級測試技術(shù)，通過控制使得與待測開關(guān)元器件并聯(lián)的一開關(guān)元器件導(dǎo)通，則該導(dǎo)通的開關(guān)元器件的第一電極與第二電極電連通，則待測開關(guān)元器件的第一電極與該導(dǎo)通的開關(guān)元器件的第二電極電連通，第二探針接觸該導(dǎo)通的開關(guān)元器件的第二電極相當(dāng)于接觸待測開關(guān)元器件的第一電極，同時(shí)第一探針接觸待測開關(guān)元器件的第二電極，如此可通過第一探針和第二探針測試待測開關(guān)元器件的電氣特性，因第一探針和第二探針為分別與待測開關(guān)元器件和該導(dǎo)通的開關(guān)元器件的第二電極對應(yīng)的探針，因此縮短了待測開關(guān)元器件的電氣特性測試路徑，大大減小了寄生電感，且無需改變測試裝置的結(jié)構(gòu)。