一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái)
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123337524.4 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN216772102U | 公開(kāi)(公告)日 | 2022-06-17 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN216772102U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-17 |
分類號(hào) | G02B21/26(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
發(fā)明人 | 胡建力;郭清;張斌 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 紹興市科技創(chuàng)業(yè)投資有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 紹興鋒行知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 312000浙江省紹興市越城區(qū)皋埠鎮(zhèn)銀橋路326號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺(tái),包括底座、旋轉(zhuǎn)桿和夾板夾具,所述旋轉(zhuǎn)桿可繞其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于底座上,旋轉(zhuǎn)桿連接有能夠控制旋轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動(dòng)的控制旋鈕;所述夾板夾具固定設(shè)置于旋轉(zhuǎn)桿的端部,用于夾持待觀察半導(dǎo)體。本實(shí)用新型能夠在短時(shí)間內(nèi)方便、快捷的觀察樣品表面和截面及其他角度,提供多角度的樣品形貌數(shù)據(jù)。 |
