一種可快速安裝料盤的旋轉(zhuǎn)軸心

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121759086.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215815821U 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN215815821U 申請公布日 2022-02-11
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 韋進(jìn);楊愛平;喬春娟;李玉婷;吳展超;聶存香;韓慧 申請（專利權(quán)）人 江蘇匯成光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 代理人 王峰
地址 225128江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金榮路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域內(nèi)的一種可快速安裝料盤的旋轉(zhuǎn)軸心，包括料盤，料盤上開設(shè)有中心盤孔，料盤通過中心盤孔可轉(zhuǎn)動地安裝在旋轉(zhuǎn)軸上，所述旋轉(zhuǎn)軸朝外的一端外周分別環(huán)繞開設(shè)有第一卡槽、第二卡槽和第三卡槽，所述旋轉(zhuǎn)軸上套設(shè)有與料盤相貼合的限位擋板，限位擋板前側(cè)固定連接有限位塊，限位塊呈圓形，限位塊中心開設(shè)有可容旋轉(zhuǎn)軸穿過的軸孔，限位塊的軸孔處設(shè)置有可卡入對應(yīng)卡槽的限位卡板，限位塊上設(shè)置有可推動限位卡板的彈性驅(qū)動機(jī)構(gòu)。本實用新型能夠?qū)⒉煌瑢挾瘸叽绲牧媳P快速安裝在馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸上，通過限位擋板和限位塊將料盤精準(zhǔn)限位，提高料盤的安裝精度。