一種具有晶圓保護(hù)裝置的晶舟
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111320511.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114093796A | 公開（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114093796A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-25 |
| 分類號(hào) | H01L21/673（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張鵬;張雨晴 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇匯成光電有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 毛姍 |
| 地址 | 225128江蘇省揚(yáng)州市高新區(qū)金榮路19號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種具有晶圓保護(hù)裝置的晶舟，包括舟體以及設(shè)于舟體上的保護(hù)裝置，所述舟體內(nèi)設(shè)有一排用于放置晶圓的插槽，舟體上端設(shè)有存入或取出晶圓的開口，保護(hù)裝置包括U形限位桿和限位組件，所述U形限位桿與所述舟體的側(cè)板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述U形限位桿沿轉(zhuǎn)動(dòng)中心轉(zhuǎn)動(dòng)靠近或遠(yuǎn)離所述舟體開口，所述限位組件用于將所述U形限位桿固定在舟體開口處或者固定在側(cè)板外壁面上。本發(fā)明提供的一種具有晶圓保護(hù)裝置的晶舟，采用U形限位桿與舟體側(cè)板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，翻轉(zhuǎn)舟體時(shí)通過U形限位桿擋住舟體開口，防止晶圓掉出，通過彈簧將U形限位桿側(cè)邊卡進(jìn)側(cè)板上的L形限位槽內(nèi)，限制住U形限位桿的位置，保證U形限位板擋料的可靠性，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，減少破片的產(chǎn)生。 |
