一種具有晶圓保護裝置的晶舟

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111320511.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114093796A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114093796A 申請公布日 2022-02-25
分類號 H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張鵬;張雨晴 申請（專利權(quán)）人 江蘇匯成光電有限公司
代理機構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 毛姍
地址 225128江蘇省揚州市高新區(qū)金榮路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種具有晶圓保護裝置的晶舟，包括舟體以及設(shè)于舟體上的保護裝置，所述舟體內(nèi)設(shè)有一排用于放置晶圓的插槽，舟體上端設(shè)有存入或取出晶圓的開口，保護裝置包括U形限位桿和限位組件，所述U形限位桿與所述舟體的側(cè)板轉(zhuǎn)動連接，所述U形限位桿沿轉(zhuǎn)動中心轉(zhuǎn)動靠近或遠離所述舟體開口，所述限位組件用于將所述U形限位桿固定在舟體開口處或者固定在側(cè)板外壁面上。本發(fā)明提供的一種具有晶圓保護裝置的晶舟，采用U形限位桿與舟體側(cè)板轉(zhuǎn)動連接，翻轉(zhuǎn)舟體時通過U形限位桿擋住舟體開口，防止晶圓掉出，通過彈簧將U形限位桿側(cè)邊卡進側(cè)板上的L形限位槽內(nèi)，限制住U形限位桿的位置，保證U形限位板擋料的可靠性，結(jié)構(gòu)簡單，減少破片的產(chǎn)生。