提高微通道板增益及微孔內(nèi)壁化學(xué)穩(wěn)定性的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110723401.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113436947A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113436947A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01J9/12（2006.01）I;H01J43/24（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 毛漢祺;祝佳祺;張姝麗;郭欣達(dá);萬(wàn)春山;張正君;李臻;喬芳健;李婧雯;劉文偉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北方夜視技術(shù)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京行高知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王菊花 |
| 地址 | 650217云南省昆明市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)紅外路5號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種提高微通道板增益及微孔內(nèi)壁化學(xué)穩(wěn)定性的方法，將經(jīng)過(guò)腐蝕工藝后得到的具有多孔結(jié)構(gòu)的微通道板進(jìn)行脫堿工藝處理；所述脫堿工藝的具體步驟如下：將經(jīng)過(guò)腐蝕處理并清洗烘干后的微通道板置于石英籃中，并放入石英玻璃容器中置于潔凈的馬弗爐中，并將馬弗爐升溫；向馬弗爐中通入氮?dú)猓偻ㄈ朊搲A氣體一段時(shí)間，停止通入脫堿氣體后繼續(xù)通氮?dú)猓箅S爐冷卻至室溫；將上述處理后的微通道板置于弱酸溶液中，再置于弱堿溶液中腐蝕，最后去離子水中超聲振動(dòng)清洗。本發(fā)明的方法在滿足微通道板基本結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，保證了微通道板中堿金屬的含量，提高了微通道板二次電子發(fā)射系數(shù)及內(nèi)壁化學(xué)穩(wěn)定性。 |
