一種撕、貼膜裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123269048.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216700477U 公開（公告）日 2022-06-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN216700477U 申請(qǐng)公布日 2022-06-07
分類號(hào) H05K3/00（2006.01）I;H05K3/28（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 黃招鳳;陳罡彪;王永義 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市易天半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市中聯(lián)專利代理有限公司 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道大王山社區(qū)西部工業(yè)園辦公樓5棟一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種撕、貼膜裝置，包括機(jī)架，以及設(shè)于機(jī)架上的以下模組：入料翻轉(zhuǎn)模組，用于上料；撕殘膠模組，用于將來(lái)自入料翻轉(zhuǎn)模組的工件表面上的殘留膠膜去除；清潔模組，用于清潔來(lái)自撕殘膠模組的工件表面的粘膠；貼膜模組，用于在來(lái)自清潔模組的工件表面貼膜；撕膜模組，用于撕掉來(lái)自貼膜模組的工件表面的離型膜；出料翻轉(zhuǎn)模組，用于收集來(lái)自撕膜模組的工件并傳送至下一工序。采用上述結(jié)構(gòu)，同現(xiàn)有同類技術(shù)相比，本實(shí)用新型在同一設(shè)備上集成了撕殘膠、清潔、貼膜及撕膜功能，有利于減小安裝空間，便于使用者控制和維護(hù)設(shè)備，降低使用成本及采購(gòu)成本；而且簡(jiǎn)化了本裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有利于進(jìn)一步降低成本。