一種基于SPW的在線型微腔光纖傳感器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110734829.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113466178A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113466178A 申請公布日 2021-10-01
分類號 G01N21/45（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉偉平;葉曉平;董俊偉;徐榮進;鄧啟航 申請（專利權(quán)）人 南京品傲光電科技有限公司
代理機構(gòu) 南京聚匠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳亞東
地址 211800江蘇省南京市浦口區(qū)江浦街道浦濱路320號科創(chuàng)廣場七號樓五樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于SPW的在線型微腔光纖傳感器及其制作方法，包括光源、第一段傳輸光纖、偏振控制器、D型微腔結(jié)構(gòu)、第二段傳輸光纖和光探測器，所述D型微腔結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有一半光纖被拋磨掉的D型光纖，所述D型光纖的平坦拋磨區(qū)表面沉積有一層金屬薄膜，所述光源與所述第一段傳輸光纖的輸入端連接，所述光探測器與所述第二段傳輸光纖的輸出端連接。通過在D型光纖的平坦拋磨區(qū)表面沉積一層金屬薄膜，通過端面激勵的方式在金屬薄膜內(nèi)激發(fā)出SPW，從而將SPW和MZI相結(jié)合，實現(xiàn)高靈敏度和微型化的高性能光纖傳感器。