一種基于石墨基底的復合涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011264714.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112501584A 公開（公告）日 2021-03-16
申請公布號 CN112501584A 申請公布日 2021-03-16
分類號 C23C16/32(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 吳建;戴煜;易君 申請（專利權(quán)）人 湖南中科頂立技術(shù)創(chuàng)新研究院有限公司
代理機構(gòu) 長沙智路知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 曲超
地址 330031江西省南昌市紅谷灘新區(qū)學府大道999號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種基于石墨基底的復合涂層及其制備方法，該復合涂層包括沉積在所述石墨基底上的TaC?C過渡層和沉積在所述過渡層外層的純TaC外涂層，所述過渡層厚度為5?50μm，所述外涂層厚度為10?300μm；其制備方法為：采用化學氣相沉積法，通過調(diào)節(jié)TaCl5和碳源氣體進入氣相沉積爐中的摩爾比，先在石墨基底表面沉積TaC?C過渡涂層，然后在TaC?C過渡涂層上沉積純TaC外涂層，通過過渡層形成梯度涂層，減少石墨基底與純TaC外涂層之間的熱應力和熱膨脹系數(shù)失配，提高外涂層與石墨基底的結(jié)合強度，從而提高外涂層的抗熱震性能。??