一種光刻機用上版夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821666150.6 申請日 -
公開(公告)號 CN208888580U 公開(公告)日 2019-05-21
申請公布號 CN208888580U 申請公布日 2019-05-21
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術;電影術;利用了光波以外其他波的類似技術;電記錄術;全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 吳建棟; 周偉旭 申請(專利權)人 福建漢晶光電科技有限公司
代理機構 廣州京諾知識產權代理有限公司 代理人 福建漢晶光電科技有限公司
地址 363300 福建省漳州市云霄縣云陵工業(yè)開發(fā)區(qū)馬山大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種光刻機用上版夾具,包括固定架、活塞桿、抽氣筒、滑桿、吸盤、支撐座、齒條、滑槽、固定螺栓、滑塊、轉桿、軸桿、齒輪、鏈條、抽氣管、排氣閥、第一鏈輪、第二鏈輪和導氣管。該種光刻機用上版夾具通過設置吸盤、抽氣筒、抽氣管以及排氣閥之間的相互配合,可以更好的對硅片進行固定,同時也避免了傳統(tǒng)固定過于過硬對硅片造成損傷,極大的提高了硅片的使用壽命,同時也更好的便于光刻機后期對硅片的曝光;通過設置齒輪、轉桿、鏈輪、滑桿以及滑塊之間的相互配合,可以更好的對夾具的尺寸的調節(jié),可以更好的對不同大小的硅片進行固定,從而極大的降低了成本,提高了生產率,同時也增強了實用性。