一種激光振鏡重復定位精度的測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810134882.9 申請日 -
公開（公告）號 CN108387176B 公開（公告）日 2020-04-28
申請公布號 CN108387176B 申請公布日 2020-04-28
分類號 G01B11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄧智芳 申請（專利權）人 武漢網(wǎng)銳檢測科技有限公司
代理機構 武漢智權專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 張凱
地址 430000 湖北省武漢市江夏區(qū)藏龍島開發(fā)區(qū)譚湖路二號1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種激光振鏡重復定位精度的測量方法，涉及激光測量領域，包括步驟：單正弦線激光發(fā)生器向激光振鏡投射正弦分布的線激光；激光振鏡將線激光反射到參考平面上，計算機控制振鏡從最小角度到最大角度掃描一次，掃描間隔根據(jù)6步相移法計算出的步距來決定，相機采用慢曝光模式，振鏡完成一次完整的掃描后相機也完成一幅圖像的獲取，通過計算機控制振鏡，使掃描的起始位置相位依次增加60°，掃描6次，獲取到6幅條紋圖像，根據(jù)每幅圖像中某像素點的光強分布則可以計算出該點的包裹相位，對包裹相位進行展開即得到該像素點的展開相位，重復測量若干次得到多幅該像素點的展開相位圖，對其進行統(tǒng)計方差計算，即得到振鏡的重復定位精度。