一種高純四氟化硅裂解反應(yīng)器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210222172.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114534626A 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114534626A 申請公布日 2022-05-27
分類號 B01J3/04（2006.01）I;C01B33/107（2006.01）I;B08B9/087（2006.01）I;B08B9/093（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 馬建修;靖宇;杜文東 申請（專利權(quán)）人 舟山福元企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 蘇州瞪羚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 354000福建省南平市邵武市金塘工業(yè)園區(qū)七牧平臺M3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種高純四氟化硅裂解反應(yīng)器，涉及四氟化硅制備技術(shù)領(lǐng)域。高純四氟化硅裂解反應(yīng)器包括反應(yīng)器本體，由柱形側(cè)壁、半球形底壁和頂壁圍成，半球形底壁上開設(shè)有排污口，排污口上蓋設(shè)有與半球形底壁配合的曲形擋板；加熱裝置，設(shè)置在側(cè)壁的外側(cè)；刮刀組件，連接至頂壁；刮刀組件包括豎直伸縮機(jī)構(gòu)、對稱設(shè)置在豎直伸縮桿兩側(cè)且的支撐桿，以及連接至支撐桿的多個半圓刮刀，半圓刮刀的外徑、柱形側(cè)壁內(nèi)徑和半球形底壁的內(nèi)徑相同；清洗組件；污垢收集箱，連接至半球形底壁；數(shù)據(jù)終端，連接至刮刀組件、清洗組件、反應(yīng)器本體和加熱裝置。上述高純四氟化硅裂解反應(yīng)器能夠在不拆卸裂解反應(yīng)器的情況下對裂解反應(yīng)器內(nèi)部進(jìn)行清洗，并且通過高壓水徹底排污。