真空鍍膜腔室和真空鍍膜設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122489769.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216006008U 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN216006008U 申請公布日 2022-03-11
分類號 C23C14/56（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/46（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 左國軍;梁建軍;朱海劍;楊虎 申請（專利權(quán)）人 常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司
代理機構(gòu) 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 尚志峰;王淑梅
地址 213133江蘇省常州市新北區(qū)機電工業(yè)園寶塔山路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種真空鍍膜腔室和一種真空鍍膜設(shè)備，其中，真空鍍膜腔室，包括：腔體；至少兩個子載板，位于腔體內(nèi)，子載板用于承載工件，至少兩個子載板并排排列，相鄰的子載板之間具有空隙。通過在真空鍍膜腔室中設(shè)置至少兩個子載板，并通過子載板對工件進(jìn)行運輸，一方面避免了通過一個整體載板運輸而產(chǎn)生的載板過大的問題，減小了子載板的尺寸，提高了子載板的強度，另一方面一塊子載板可同時運輸多個工件，提高了運輸效率，減少了用于移動子載板的鉤取件的數(shù)量，簡化了真空鍍膜腔室的結(jié)構(gòu)。