一種用于PECVD工藝的電池片托盤

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123287384.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216944058U 公開（公告）日 2022-07-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN216944058U 申請(qǐng)公布日 2022-07-12
分類號(hào) B65D19/44（2006.01）I;B65D19/38（2006.01）I;B65D85/88（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 左國(guó)軍;蘆偉;沈晨鑫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 213000江蘇省常州市新北區(qū)機(jī)電工業(yè)園寶塔山路9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于PECVD工藝的電池片托盤，其具有平板狀的托盤本體（1），托盤本體頂面設(shè)有多個(gè)矩形的凹陷的電池片放置槽（2），所述電池片放置槽的四個(gè)側(cè)壁皆采用兩級(jí)臺(tái)階結(jié)構(gòu)，其中部的臺(tái)階圍攏成一個(gè)框狀的電池片支撐臺(tái)階（3），電池片（5）放在該電池片支撐臺(tái)階上進(jìn)行PECVD工藝，所述電池片支撐臺(tái)階（3）上設(shè)有多個(gè)氣道（4），所述氣道溝通電池片上表面空間和下表面空間；本實(shí)用新型可防止冷卻腔內(nèi)N2回填時(shí)電池片翹曲變形，使電池片上表面的空間與電池片下表面的密閉空間盡快實(shí)現(xiàn)壓強(qiáng)平衡，防止電池片變形后與托盤凹槽底面接觸產(chǎn)生污染，從而影響電池片發(fā)電效率。