一種掃片裝置和晶圓清洗設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123358505.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216561830U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216561830U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-17 |
| 分類(lèi)號(hào) | G06M7/08（2006.01）I;G06M1/27（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 左國(guó)軍;柯國(guó)英;付正超;鞠璐平;何其斌 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 213000江蘇省常州市新北區(qū)機(jī)電工業(yè)園寶塔山路9號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種掃片裝置和晶圓清洗設(shè)備，涉及計(jì)數(shù)裝置技術(shù)領(lǐng)域。掃片裝置具體包括用于計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)傳感器、驅(qū)動(dòng)所述計(jì)數(shù)傳感器沿著待檢物料堆疊方向運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件、用于檢測(cè)計(jì)數(shù)傳感器運(yùn)動(dòng)位置的位置檢測(cè)組件、以及根據(jù)所述位置檢測(cè)組件的檢測(cè)結(jié)果控制所述計(jì)數(shù)傳感器計(jì)數(shù)的控制模塊。實(shí)現(xiàn)掃片裝置在一次移動(dòng)中完成對(duì)多個(gè)晶圓盒中晶圓數(shù)量的統(tǒng)計(jì)，提高掃片效率。 |
