無(wú)線無(wú)源SiCN陶瓷基諧振腔式振動(dòng)傳感器及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410840230.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104483013B 公開（公告）日 2017-08-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN104483013B 申請(qǐng)公布日 2017-08-04
分類號(hào) G01H11/06(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 余煜璽;李燕;傘海生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中科潤(rùn)資科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門南強(qiáng)之路專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 馬應(yīng)森
地址 361005 福建省廈門市思明南路422號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 無(wú)線無(wú)源SiCN陶瓷基諧振腔式振動(dòng)傳感器及制備方法，涉及振動(dòng)傳感器。所述振動(dòng)傳感器設(shè)有圓柱形非晶態(tài)SiCN陶瓷壓介元件、開槽天線和用于感受振動(dòng)的質(zhì)量塊，所述圓柱形非晶態(tài)SiCN陶瓷壓介元件表面包裹耐高溫金屬層并形成諧振腔，開槽天線設(shè)在諧振器上表面，質(zhì)量塊安裝在諧振腔上。先制備圓柱形非晶態(tài)SiCN陶瓷壓介元件，在非晶態(tài)SiCN陶瓷壓介元件上表面對(duì)應(yīng)耦合激勵(lì)端口處，用聚酰亞胺膠帶保護(hù)后，再在非晶態(tài)SiCN陶瓷壓介元件表面電鍍上金屬層而形成諧振腔，然后再去除聚酰亞胺膠帶，即得到上表面帶有耦合激勵(lì)端口的諧振腔；在諧振器的上表面中心處放置用于感受振動(dòng)的質(zhì)量塊，質(zhì)量塊與諧振腔之間進(jìn)行粘結(jié)。