選通器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110680038.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113421965A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113421965A 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類(lèi)號(hào) H01L51/10（2006.01）I;H01L51/30（2006.01）I;H01L51/05（2006.01）I;H01L51/40（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 王晨;張衛(wèi);黃陽(yáng);唐靈芝 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海集成電路制造創(chuàng)新中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海恒銳佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃海霞
地址 200433上海市楊浦區(qū)邯鄲路220號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種選通器，包括底電極、阻變層和頂電極。所述選通器的阻變層固定于底電極上，頂電極固定于阻變層上，底電極的組成材料為ITO導(dǎo)電玻璃，阻變層為鈣鈦礦薄膜，頂電極的組成材料為銀，選通器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，生產(chǎn)效率高，選通器開(kāi)啟速度快，具有較高開(kāi)關(guān)比，通過(guò)簡(jiǎn)單的電場(chǎng)掃描刺激，可以促使銀元素進(jìn)入阻變層，進(jìn)而提高選通器的閾值開(kāi)關(guān)速度，具有穩(wěn)定的雙向閾值開(kāi)關(guān)性能。本發(fā)明還提供了所述選通器的制備方法，包括清洗ITO導(dǎo)電玻璃；配制有機(jī)無(wú)機(jī)雜化鈣鈦礦溶液；通過(guò)旋涂工藝將有機(jī)無(wú)機(jī)雜化鈣鈦礦溶液旋涂于ITO導(dǎo)電玻璃上，形成鈣鈦礦薄膜；通過(guò)真空蒸發(fā)工藝在所述鈣鈦礦薄膜上沉積銀電極。所述選通器的制備方法簡(jiǎn)單，成本低。