一種加熱裝置及具有其的集成電路分選機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122870791.1 申請日 -
公開（公告）號 CN216491097U 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN216491097U 申請公布日 2022-05-10
分類號 H05B3/02（2006.01）I;H05B3/22（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 莫右;曾昭孔;朱軍;張巖 申請（專利權(quán)）人 蘇州通富超威半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇桐路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種一種加熱裝置及具有其的集成電路分選機(jī)。該加熱裝置包括安裝座及設(shè)于所述安裝座上表面上的陶瓷發(fā)熱片，所述加熱裝置還包括石墨片，所述石墨片通過粘合層固定于所述陶瓷發(fā)熱片上。本實(shí)用新型的加熱裝置在高溫或測試時間較長的情況下也具有較好的導(dǎo)熱性能，穩(wěn)定性好且減少了裝置維護(hù)的工作量。