一種半導(dǎo)體器件高溫測試用的加熱裝置及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111385769.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114302512A 公開（公告）日 2022-04-08
申請公布號 CN114302512A 申請公布日 2022-04-08
分類號 H05B3/02（2006.01）I;H05B3/22（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 莫右;曾昭孔;朱軍;張巖 申請（專利權(quán)）人 蘇州通富超威半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 李萍
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇桐路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件高溫測試用的加熱裝置及其制備方法。該制備方法包括如下步驟：A、提供待固定到陶瓷發(fā)熱片上的石墨片，所述陶瓷發(fā)熱片設(shè)于一安裝座的上表面；B、將含有石墨粉的粘合劑涂敷在所述陶瓷發(fā)熱片的表面上，并將石墨片覆于所述陶瓷發(fā)熱片上；C、加熱并在所述石墨片上施加壓力，以使所述粘合劑固化并將所述石墨片固定在所述陶瓷發(fā)熱片上。本發(fā)明的加熱裝置在高溫或測試時間較長的情況下也具有較好的導(dǎo)熱性能，穩(wěn)定性好且減少了裝置維護的工作量。