一種半導(dǎo)體器件的壓力測(cè)試設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122742432.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216594540U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216594540U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N3/10（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 閔繁瑞;郭紅偉;朱軍;曾昭孔 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州通富超威半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇桐路88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體器件的壓力測(cè)試設(shè)備，其傳輸區(qū)域設(shè)置有托載待測(cè)試的半導(dǎo)體器件的托盤(pán)和傳輸機(jī)械手，測(cè)試區(qū)域設(shè)置有測(cè)試工位、測(cè)試氣囊、緩沖氣囊、氣壓管路組件和測(cè)試機(jī)械手，傳輸機(jī)械手將半導(dǎo)體器件從托盤(pán)轉(zhuǎn)移到交界區(qū)域，測(cè)試機(jī)械手將半導(dǎo)體器件從交界區(qū)域轉(zhuǎn)移到測(cè)試工位；測(cè)試氣囊、緩沖氣囊在測(cè)試工位處相對(duì)設(shè)置；氣壓管路組件包括連接氣源的氣壓閥、第一電子調(diào)節(jié)閥、第二電子調(diào)節(jié)閥、第一通氣管路和第二通氣管路，第一通氣管路連通氣壓閥的出口與測(cè)試氣囊，第二通氣管路連通氣壓閥與緩沖氣囊，且第一電子調(diào)節(jié)閥/第二電子調(diào)節(jié)閥分別調(diào)節(jié)第一通氣管路/第二通氣管路的氣流。本實(shí)用新型解決壓力測(cè)試時(shí)緩沖氣囊氣壓的設(shè)置問(wèn)題。 |
