一種微小芯片節(jié)距調(diào)整裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110407634.9 申請日 -
公開(公告)號 CN113113335A 公開(公告)日 2021-07-13
申請公布號 CN113113335A 申請公布日 2021-07-13
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L25/075(2006.01)I;H01L27/15(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 付桂花;馬洪毅 申請(專利權(quán))人 山西高科華興電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原高欣科創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 崔雪花;冷錦超
地址 046000山西省長治市城區(qū)北董新街65號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種微小芯片節(jié)距調(diào)整裝置,屬于微小電子元器件技術(shù)領(lǐng)域;具體包括固定框架,固定框架內(nèi)設(shè)置有可左右移動的節(jié)距調(diào)整機(jī)構(gòu),節(jié)距調(diào)整機(jī)構(gòu)包括多個平行的節(jié)距執(zhí)行板,相鄰兩個節(jié)距執(zhí)行板之間的間距在推動機(jī)構(gòu)下可等距離拉長和收縮,固定框架內(nèi)設(shè)置有限位機(jī)構(gòu),限位機(jī)構(gòu)用于節(jié)距執(zhí)行板在拉長或收縮后的定位,節(jié)距執(zhí)行板用于插入吸盤上微小芯片的行或列內(nèi)進(jìn)行節(jié)距調(diào)整;本發(fā)明通過節(jié)距調(diào)整裝置可簡單快速的實現(xiàn)微小芯片節(jié)距調(diào)整,與多種轉(zhuǎn)移裝置相配合使用,提高了轉(zhuǎn)移的效率和精度,無需復(fù)雜的設(shè)備即可完成,大量節(jié)約成本。