一種分光芯片及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610474081.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105954833A 公開(kāi)（公告）日 2016-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN105954833A 申請(qǐng)公布日 2016-09-21
分類號(hào) G02B6/125(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 周東平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海晶鼎光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200082 上海市楊浦區(qū)軍工路1300號(hào)10號(hào)樓2層?xùn)|
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種分光芯片，以藍(lán)寶石或者石英為基片，所述基片的一側(cè)設(shè)置有截次峰膜系，所述基片另一側(cè)設(shè)置有第一反射膜，所述第一反射膜上設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)通道，相鄰?fù)ǖ乐g被黑鉻隔開(kāi)。同時(shí)公開(kāi)了該芯片的制作方法步驟(1)在基片上光刻通道和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；(2)基片上鍍制第一反射膜；(3)鍍制中間層；(4)鍍制第二反射膜；(5)基片的背面鍍制截次峰膜系。本分光芯片的工作波段在900～2500nm范圍內(nèi)，而且尺寸還可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)整，非常方便集成和家用，大大優(yōu)于目前國(guó)內(nèi)外同類型微型光譜儀的光譜分辨率的性能；實(shí)現(xiàn)真正的微型化；可提高儀器的可靠性、穩(wěn)定性、和光學(xué)效率。