一種短波紅外多通道集成光譜組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510864335.2 申請日 -
公開（公告）號 CN105371951B 公開（公告）日 2018-10-23
申請公布號 CN105371951B 申請公布日 2018-10-23
分類號 G01J3/28;G01J3/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 邵秀梅;周東平;方家熊;程吉鳳;徐勤飛;黃松壘;陳郁 申請（專利權(quán)）人 上海晶鼎光電科技有限公司
代理機構(gòu) 上海新天專利代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所;上海晶鼎光電科技有限公司
地址 200083 上海市虹口區(qū)玉田路500號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種短波紅外多通道集成光譜組件，它包括：高長寬比InGaAs線列光敏芯片、讀出電路、過渡電極板、測溫電阻、半導(dǎo)體致冷器、多通道數(shù)字式分光器、窗口、金屬管殼與蓋板。多通道數(shù)字式分光器作為微型光譜儀的分光元件，通過邊緣金屬化焊接直接固定在高長寬比InGaAs線列光敏芯片上，集成在探測器組件內(nèi)部。本發(fā)明優(yōu)點是：InGaAs線列光敏芯片的光敏元為高長寬比結(jié)構(gòu)，可提高光譜測試的信噪比；多通道數(shù)字式分光器可在單個基片上實現(xiàn)光譜的精細調(diào)控，并抑制各通道內(nèi)的光譜噪聲、通道間串音、通道外雜散光；在探測器組件實現(xiàn)多個光譜通道探測簡化了微型光譜儀的結(jié)構(gòu)，提高儀器的可靠性和穩(wěn)定性，減輕儀器的重量。