一種晶圓級集成光學(xué)窗口

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621058033.2 申請日 -
公開（公告）號 CN206833048U 公開（公告）日 2018-01-02
申請公布號 CN206833048U 申請公布日 2018-01-02
分類號 G02B7/00(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 周東平 申請（專利權(quán)）人 上海晶鼎光電科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 200082 上海市楊浦區(qū)軍工路1300號10號樓2層?xùn)|
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了一種晶圓級集成光學(xué)窗口，包括：晶圓本體；光學(xué)窗口，所述光學(xué)窗口與需要封裝的另一晶圓上探測器芯片的數(shù)量、位置對應(yīng)，在所述晶圓本體的第一表面上凹陷形成；所述光學(xué)窗口包括與所述第一表面平行的底面，以及設(shè)置于所述第一表面與所述底面之間的過渡面；吸氣劑層，設(shè)置于所述過渡面上，并由所述過渡面上延伸至所述底面上，沿所述底面邊緣設(shè)置。本實用新型通過在晶圓本體上與需要封裝的另一晶圓的探測器芯片對應(yīng)設(shè)置若干光學(xué)窗口，可以實現(xiàn)晶圓級封裝，封裝完成后再進(jìn)行切割，具有生產(chǎn)效率高、生產(chǎn)成本低的優(yōu)點。