一種二極管芯片酸洗工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410651917.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104399702B 公開（公告）日 2017-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN104399702B 申請(qǐng)公布日 2017-01-18
分類號(hào) B08B3/08(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 蔡彤;張練佳;賁海蛟;梅余鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇宏錦建設(shè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京一格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 如皋市易達(dá)電子有限責(zé)任公司;楊佳偉;江蘇新東亞建設(shè)有限公司
地址 226500 江蘇省南通市如皋市搬經(jīng)鎮(zhèn)群岸村7組
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種二極管芯片酸洗工藝，所述工藝依次為一次酸洗、二次酸洗、氨水與雙氧水清洗及水超聲清洗，其中一次酸洗清洗時(shí)間110?125s，二次酸洗清洗時(shí)間70?78s；所述一次酸洗的清洗液為HNO3、HF、CH3COOH和H2SO4的混合液，所述二次酸洗的清洗液為H3PO4、H2O2、H2O和CH3COOH的混合液；所述一次酸洗液中HNO3：HF：CH3COOH和H2SO4的體積比為9:9:12:4；所述二次酸洗液中H3PO4、H2O2、H2O和CH3COOH的體積比為1:0.8:3:0.2。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：本發(fā)明的酸洗工藝中，在二次酸洗液中加入了冰醋酸，利用冰醋酸溶解掉混合酸洗中生成物硫酸鉛，避免硫酸鉛會(huì)吸附到芯片的側(cè)面，提高了二極管芯片的電性能。