一種帶復(fù)合絕緣層的金屬基薄膜傳感器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510104153.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104726862B 公開(kāi)（公告）日 2018-06-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN104726862B 申請(qǐng)公布日 2018-06-19
分類號(hào) C23C28/00;C23C14/35 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙曉輝;王亦然;楊柯;蔣書(shū)文;蔣洪川;熊杰;張萬(wàn)里 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞電子科技大學(xué)電子信息工程研究院
代理機(jī)構(gòu) 電子科技大學(xué)專利中心 代理人 李明光
地址 611731 四川省成都市高新區(qū)(西區(qū))西源大道2006號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種帶復(fù)合絕緣層的金屬基薄膜傳感器及其制備方法，屬于薄膜傳感器的設(shè)計(jì)及制備技術(shù)領(lǐng)域。所述帶復(fù)合絕緣層的金屬基薄膜傳感器從下往上依次為合金基板、NiCrAlY合金過(guò)渡層、Al2O3熱生長(zhǎng)層、非晶YAlO過(guò)渡層、Al2O3絕緣層、薄膜傳感器功能層、Al2O3保護(hù)層，其中，非晶YAlO過(guò)渡層為氧化釔和氧化鋁組成的非晶YAlO薄膜，氧化釔與氧化鋁的摩爾比為1：(1～20)。本發(fā)明的非晶YAlO過(guò)渡層能改善薄膜傳感器絕緣層的附著力和絕緣性能，降低器件的失效幾率，為薄膜傳感器在高溫惡劣的環(huán)境中工作提供了更高的可靠性。