一種離子注入機劑量高精度檢測控制器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620142834.0 申請日 -
公開（公告）號 CN205452231U 公開（公告）日 2016-08-10
申請公布號 CN205452231U 申請公布日 2016-08-10
分類號 H01J37/317(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉輝;童雪林;劉光燦;謝明華 申請（專利權）人 長沙米德電子科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 410022 湖南省長沙市開福區(qū)洪山路98號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種離子注入機劑量高精度檢測控制器，該控制器包括微處理器、輸入保護電路、精密I/V變換電路、峰值檢測電路、濾波電路、積分電路、A/D轉換器、通信接口電路、自校準電流源電路、掃描波形發(fā)生電路、I/O控制電路和液晶顯示電路。利用多通道精密I/V變換電路將輸入的離子束流變換成電壓，對該電壓進行峰值檢測、濾波和積分之后送入A/D轉換器，A/D轉換結果輸入微處理器，測量出離子束流電流值，實現(xiàn)對離子注入劑量的精確檢測；微處理器控制精密I/V變換電路的輸入電流檔位自動切換，實現(xiàn)多通道、多檔位束流與劑量精確采集功能?？刂茠呙璨ㄐ伟l(fā)生電路產生行掃描和場掃描兩路掃描信號，控制外部高壓放大電路輸出高壓掃描電壓，實現(xiàn)離子的掃描注入控制；控制外部束流輸出器的輸出量，實現(xiàn)對離子注入劑量的精確控制。本實用新型能夠實現(xiàn)離子注入劑量的精確檢測和劑量的均勻性控制。