一種太陽電池的選擇性摻雜結構的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110130686.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112701192A 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN112701192A 申請公布日 2021-04-23
分類號 H01L31/18;H01L31/068 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 杜哲仁;楊俊楠;沈承煥;趙影文;季根華;張志郢;陳嘉;林建偉 申請（專利權）人 泰州中來光電科技有限公司
代理機構 北京金之橋知識產權代理有限公司 代理人 徐李娜
地址 225500 江蘇省泰州市姜堰經濟開發(fā)區(qū)開陽路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于太陽電池技術領域，涉及一種太陽電池的選擇性摻雜結構的制備方法，包含如下步驟：步驟一，對硅片的表面進行預處理，在預處理后的所述硅片的表面沉積含摻雜源的poly層；步驟二，在所述poly層的表面的局部進行激光處理，以形成重摻雜區(qū)域；步驟三，對所述硅片進行退火，以使所述poly層的表面的未激光處理區(qū)域形成輕摻雜區(qū)域，并在退火處理過程中通入含O2的氣體，以將所述poly層氧化為BSG/PSG層；步驟四，清洗所述硅片，以去除所述BSG/PSG層，得到太陽電池的選擇性摻雜結構。該制備方法能精準控制選擇性摻雜結構的輕摻雜區(qū)域和重摻雜區(qū)域的摻雜量，并能簡化制備工序和結構，提高制備效率。