一種多層復(fù)合陶瓷盤及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010234112.9 申請日 -
公開(公告)號 CN111620701A 公開(公告)日 2020-09-04
申請公布號 CN111620701A 申請公布日 2020-09-04
分類號 C04B35/622;C04B35/10;C04B41/88;H01L21/683;H01L21/67 分類 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 張巨先 申請(專利權(quán))人 煙臺睿瓷新材料技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京思海天達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張立改
地址 101300 北京市順義區(qū)北小營鎮(zhèn)順木路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多層復(fù)合陶瓷盤及其制造方法,涉及半導(dǎo)體和材料科學(xué)領(lǐng)域。所述復(fù)合陶瓷盤包括至少一個基礎(chǔ)三明治結(jié)構(gòu),包括:用陶瓷粉體制備一個片狀陶瓷素坯;把陶瓷素坯在低于燒結(jié)溫度的預(yù)燒結(jié)溫度下,進(jìn)行預(yù)燒結(jié),得到具有一定強度的預(yù)燒結(jié)陶瓷件;在預(yù)燒結(jié)陶瓷件的上表面上形成一金屬電極層;將預(yù)燒結(jié)陶瓷件放入模具中,且覆有金屬電極層的上表面朝上;在預(yù)燒結(jié)陶瓷件上表面提供一陶瓷前體層;沿著預(yù)燒結(jié)陶瓷件軸向方向在燒結(jié)溫度下加壓燒結(jié)成一體,所述預(yù)燒結(jié)陶瓷件經(jīng)加壓燒結(jié)形成第二陶瓷層,所述陶瓷前體層經(jīng)加壓燒結(jié)形成第一陶瓷層,其中,所述金屬電極層位于所述第一陶瓷層和第二陶瓷層之間并與第一陶瓷層和第二陶瓷層形成一基礎(chǔ)三明治結(jié)構(gòu)。