一種同心圓結(jié)構(gòu)的靜電吸盤電極圖形結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011087867.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112234015A 公開（公告）日 2021-01-15
申請公布號 CN112234015A 申請公布日 2021-01-15
分類號 H01L21/683(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張巨先 申請（專利權(quán)）人 煙臺睿瓷新材料技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京思海天達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京巨瓷科技有限公司
地址 265200 山東省煙臺市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)貴陽大街13號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種同心圓結(jié)構(gòu)的靜電吸盤電極圖形結(jié)構(gòu)，涉及半導(dǎo)體和材料科學(xué)領(lǐng)域。靜電吸盤中的電極單元被分割成若干個小電極帶弧后，小電極帶弧通過連接點的設(shè)置，整個靜電吸盤中的電極可以分成所需的任何極數(shù)。同心圓結(jié)構(gòu)的靜電吸盤電極圖形結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)的靜電吸盤電極，一方面將劃分單元小型化，有利于降低殘余熱應(yīng)力；另一方面，避免了在單元劃分過程中孤立電極產(chǎn)生。是一種對稱性好，結(jié)構(gòu)均勻、簡單的靜電吸盤電極。??