具有加熱功能的靜電吸盤及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011087847.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112259490A 公開（公告）日 2021-01-22
申請公布號 CN112259490A 申請公布日 2021-01-22
分類號 H01L21/683;H01L21/67;C04B35/10;C04B35/443;C04B35/46;C04B35/48;C04B35/565;C04B35/58;C04B35/581;C04B35/584;C04B35/622 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張巨先 申請（專利權(quán)）人 煙臺睿瓷新材料技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京思海天達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張立改
地址 101300 北京市順義區(qū)北小營鎮(zhèn)順木路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 具有加熱功能的靜電吸盤及其制備方法，涉及半導(dǎo)體和材料科學(xué)領(lǐng)域。包括上陶瓷基底層，靜電吸盤電極層，中間陶瓷層，加熱電極層；和下陶瓷基底層。其中，靜電吸盤電極層位于上陶瓷基底層和中間陶瓷層之間，加熱電極層位于中間陶瓷層和下陶瓷基底層之間，上陶瓷基底層、中間陶瓷層和下陶瓷基底層經(jīng)燒結(jié)成一體把靜電吸盤電極層和加熱電極層基本上整體封裝起來，僅保留用以為靜電吸盤電極層和加熱電極層提供電連接的連接觸點(diǎn)，其中所述具有加熱功能的靜電吸盤除靜電吸盤電極層和加熱電極層及其電連接結(jié)構(gòu)之外為全陶瓷結(jié)構(gòu)。