一種等離子處理基板的臺車輸送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120641878.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214933404U 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN214933404U 申請公布日 2021-11-30
分類號 B65G35/00（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 張明德;湯家云;劉慶峰;陳培峰;羅梁 申請（專利權(quán)）人 揚州國興技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 江蘇海聯(lián)海律師事務(wù)所 代理人 倪章勇
地址 225000江蘇省揚州市江都區(qū)大橋鎮(zhèn)白沙中路1號科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種等離子處理基板的臺車輸送裝置，包括等離子處理腔體，等離子處理腔體的前方設(shè)置含有臺車的臺車輸送區(qū)域，臺車由車架和單槽臺車組成，臺車輸送區(qū)域的上方設(shè)置有定位銷抬升機構(gòu)，單槽臺車上方設(shè)有定位銷，車架的上端面為轉(zhuǎn)接板，轉(zhuǎn)接板上設(shè)有滑軌，滑軌上方設(shè)置有過渡板，單槽臺車底部沿相對過渡板向等離子處理腔體滑動，當(dāng)裝有基板的臺車送至等離子真空處理腔體門口時，等離子處理腔體打開腔門，自動將臺車上單槽臺車內(nèi)的基板送入等離子處理腔體加工處理，這種運送裝置實現(xiàn)全程輸送基板自動化，節(jié)省人工和提高效率，過渡板使得在基板推入等離子處理腔體時，避免因臺車和等離子處理腔體之間的間隙導(dǎo)致基板掉落造成的損失。