一種多腔體等離子處理自動(dòng)上下料系統(tǒng)的輸送機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120642425.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214933747U 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN214933747U 申請公布日 2021-11-30
分類號 B65G47/64（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 張明德;湯家云;劉慶峰;陳培峰;羅梁 申請（專利權(quán)）人 揚(yáng)州國興技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇海聯(lián)海律師事務(wù)所 代理人 王燕鳳
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市江都區(qū)大橋鎮(zhèn)白沙中路1號科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種多腔體等離子處理自動(dòng)上下料系統(tǒng)的輸送機(jī)構(gòu)，設(shè)有至少兩個(gè)等離子處理腔體、送料區(qū)和轉(zhuǎn)接區(qū)，臺(tái)車推入或拉出等離子處理腔體；輸送腔體內(nèi)設(shè)有抬升或下降臺(tái)車的升降機(jī)。等離子處理單槽臺(tái)車的輸送系統(tǒng)利用升降機(jī)、滾珠滑軌和輸送滾輪臺(tái)的配合，解決現(xiàn)階段等離子處理全自動(dòng)輸送系統(tǒng)中存在的由于水平輸送和垂直輸送之間輸送機(jī)構(gòu)導(dǎo)致的輸送干涉問題，同時(shí)可以讓臺(tái)車和升降臺(tái)之間能夠?qū)崿F(xiàn)自由分離，在臺(tái)車處于等待期間，升降臺(tái)可以繼續(xù)上升或下降，縮短基板處理時(shí)臺(tái)車的等待時(shí)間，提高等離子處理系統(tǒng)整體的處理效率。