一種多腔體等離子處理自動(dòng)上下料系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110339762.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112960378A 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN112960378A 申請公布日 2021-06-15
分類號 B65G47/74（2006.01）I;B65G47/90（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 張明德;湯家云;劉慶峰 申請（專利權(quán)）人 揚(yáng)州國興技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇海聯(lián)海律師事務(wù)所 代理人 王燕鳳
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市江都區(qū)大橋鎮(zhèn)白沙中路1號科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多腔體等離子處理自動(dòng)上下料系統(tǒng)，多個(gè)腔體通過傳輸機(jī)構(gòu)固定連接在一起，自動(dòng)化機(jī)械手臂連續(xù)不間斷的為單槽夾具上下板區(qū)的臺(tái)車上板，上了板的臺(tái)車通過水平傳送裝置輸送至送料區(qū)，最后由機(jī)械手將裝滿等離子處理基板的臺(tái)車推入真空腔體進(jìn)行加工處理；加工處理完成后，臺(tái)車又拉出至送料區(qū)的上層輸送腔體，再通過水平傳送裝置和升降裝置切換未加工的臺(tái)車至送料區(qū)的上層輸送腔體，這樣的自動(dòng)化流水工作，有效的降低了人工成本，提高了工作效率。