一種多腔體等離子處理自動上下料系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120641998.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214933779U 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN214933779U 申請公布日 2021-11-30
分類號 B65G47/74（2006.01）I;B65G47/90（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 張明德;湯家云;劉慶峰;陳培峰;羅梁 申請（專利權(quán)）人 揚州國興技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 江蘇海聯(lián)海律師事務(wù)所 代理人 王燕鳳
地址 225000江蘇省揚州市江都區(qū)大橋鎮(zhèn)白沙中路號科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多腔體等離子處理自動上下料系統(tǒng)，多個腔體通過傳輸機構(gòu)固定連接在一起，自動化機械手臂連續(xù)不間斷的為單槽夾具上下板區(qū)的臺車上板，上了板的臺車通過水平傳送裝置輸送至送料區(qū)，最后由機械手將裝滿等離子處理基板的臺車推入真空腔體進行加工處理；加工處理完成后，臺車又拉出至送料區(qū)的上層輸送腔體，再通過水平傳送裝置和升降裝置切換未加工的臺車至送料區(qū)的上層輸送腔體，這樣的自動化流水工作，有效的降低了人工成本，提高了工作效率。