一種等離子處理單槽臺車的導向定位機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120642381.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214933406U 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN214933406U 申請公布日 2021-11-30
分類號 B65G35/00（2006.01）I;B65G47/22（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 張明德;湯家云;劉慶峰;陳培峰;羅梁 申請（專利權）人 揚州國興技術有限公司
代理機構 江蘇海聯(lián)海律師事務所 代理人 王燕鳳
地址 225000江蘇省揚州市江都區(qū)大橋鎮(zhèn)白沙中路1號科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種等離子處理單槽臺車的導向定位機構，在轉接板的底部兩側設有導輪，對應車架的兩側設有滾珠滑軌，使導輪沿滾珠滑軌方向滑動得第一伸縮氣缸；轉接板的兩側設有定位銷孔，對應車架的兩側設有橫移定位銷，橫移定位銷的另一端均設有推動橫移定位銷卡入定位銷孔的第二伸縮氣缸，橫移定位銷卡入定位銷孔后限制單槽臺車沿滾珠滑軌方向滑動。通過改善臺車的內部結構，為等離子處理系統(tǒng)上下基板實現(xiàn)自動化提供支持，該導向定位機構能夠進一步提升臺車自動化輸送基板的穩(wěn)定性和準確性，解決現(xiàn)有的等離子處理系統(tǒng)在基板輸送自動化程度低的問題，提高了等離子處理系統(tǒng)的整體效率，降低基板在輸送過程中導致的人為操作損壞問題。