一種等離子處理單槽臺(tái)車過渡板的推送結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120642400.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214933821U 公開（公告）日 2021-11-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN214933821U 申請(qǐng)公布日 2021-11-30
分類號(hào) B65G47/82（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 張明德;湯家云;劉慶峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 揚(yáng)州國(guó)興技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇海聯(lián)海律師事務(wù)所 代理人 倪章勇
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市江都區(qū)大橋鎮(zhèn)白沙中路1號(hào)科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種等離子處理單槽臺(tái)車過渡板的推送結(jié)構(gòu)，包括過渡板和轉(zhuǎn)接板，利用過渡板位移伺服器先連接過渡板，并帶動(dòng)過渡板自動(dòng)滑動(dòng)后，再利用推桿伺服器推動(dòng)U型推桿，將單槽臺(tái)車推入等離子處理腔體，整個(gè)過程由控制系統(tǒng)控制兩個(gè)伺服器完成過渡板和單槽臺(tái)車的所有動(dòng)作，輔助實(shí)現(xiàn)了等離子處理系統(tǒng)前輸送待處理基板的全自動(dòng)化操作，提高了等離子處理系統(tǒng)的效率，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化系統(tǒng)處理。