一種由莪術(shù)醇合成的磺酸锍鹽類光產(chǎn)酸劑及其合成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011541788.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113045537A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113045537A 申請公布日 2021-06-29
分類號 C07D333/46（2006.01）I;C07D493/08（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 郭穎;畢景峰;李嫚嫚;王尹卓;潘惠英 申請（專利權(quán)）人 上海博棟化學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201614上海市松江區(qū)九亭鎮(zhèn)中心路1158號9幢403室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種由莪術(shù)醇合成的磺酸锍鹽類光產(chǎn)酸劑，涉及光產(chǎn)酸劑領(lǐng)域，該光產(chǎn)酸劑的結(jié)構(gòu)式為：R1選自和R2選自氟代烷基或者氟代環(huán)烷基，且R2結(jié)構(gòu)中的部分亞甲基可以被酯基、醚、羰基或者碳酸酯基取代。該光產(chǎn)酸劑能夠降低光產(chǎn)酸劑的擴(kuò)散，有利于改善邊緣粗糙度，減小線寬粗糙度，提高分辨率；親水親油平衡，既具有一定的粘附性，又可以在溶劑中均勻溶解，有利于成像；在193nm波長的光源下吸收低，更加透明，有利于光刻膠在193nm波長光源下的曝光，并且具有優(yōu)良的耐刻蝕性能；合成方法簡單。