由戊醛糖合成的光刻膠樹脂單體及其合成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911385240.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111116605A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN111116605A 申請公布日 2021-06-04
分類號 C07D493/14;C07D493/20;C08F22/20;G03F7/004 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 喻珍林;潘惠英;蔣小惠;畢景峰;賀寶元 申請（專利權）人 上海博棟化學科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 201614 上海市松江區(qū)九亭鎮(zhèn)中心路1158號9幢403室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種由戊醛糖合成的光刻膠樹脂單體及其合成方法，屬于化學合成及光刻材料領域。該光刻膠樹脂單體的結構通式為：式中，R1為氫或者甲基；R2為烷基或者環(huán)烷基；M為二價的連接基團。該光刻膠樹脂單體的合成方法為：將含羥基的醛或酮與丙烯酸類化合物進行反應，得到中間體；將所述中間體與戊醛糖在酸催化下進行反應，得到所述光刻膠樹脂單體。本發(fā)明提供的光刻膠樹脂單體具有增加抗蝕性、改善樹脂與晶圓的粘附性、增加樹脂在堿性顯影液中的溶解度、有利于改善邊緣粗糙度以及提高分辨率的特點。