由戊醛糖合成的光刻膠樹(shù)脂單體及其合成方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911385240.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111116605B 公開(kāi)（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN111116605B 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類(lèi)號(hào) C07D493/14;C07D493/20;C08F22/20;G03F7/004 分類(lèi) 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 喻珍林;潘惠英;蔣小惠;畢景峰;賀寶元 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海博棟化學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201614 上海市松江區(qū)九亭鎮(zhèn)中心路1158號(hào)9幢403室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種由戊醛糖合成的光刻膠樹(shù)脂單體及其合成方法，屬于化學(xué)合成及光刻材料領(lǐng)域。該光刻膠樹(shù)脂單體的結(jié)構(gòu)通式為：式中，R1為氫或者甲基；R2為烷基或者環(huán)烷基；M為二價(jià)的連接基團(tuán)。該光刻膠樹(shù)脂單體的合成方法為：將含羥基的醛或酮與丙烯酸類(lèi)化合物進(jìn)行反應(yīng)，得到中間體；將所述中間體與戊醛糖在酸催化下進(jìn)行反應(yīng)，得到所述光刻膠樹(shù)脂單體。本發(fā)明提供的光刻膠樹(shù)脂單體具有增加抗蝕性、改善樹(shù)脂與晶圓的粘附性、增加樹(shù)脂在堿性顯影液中的溶解度、有利于改善邊緣粗糙度以及提高分辨率的特點(diǎn)。