一種用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022220865.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214020071U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN214020071U 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類號(hào) B01D53/78（2006.01）I;B01D53/68（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 陳簫簫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 亞芯半導(dǎo)體材料（江蘇）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州市權(quán)航專利代理有限公司 代理人 趙慧
地址 215000 江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)臨滬大道北側(cè)1508號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型具體涉及一種用于高純鎢坯體制備的尾氣處理系統(tǒng)，本尾氣處理系統(tǒng)包括：尾氣接收裝置；堿式噴淋裝置，用于接收尾氣接收裝置輸出的尾氣，并向尾氣噴淋堿液，以中和尾氣中除氟化氫和相應(yīng)有害氟化物，生成氟化鈣沉淀物；和燃燒裝置，連接堿式噴淋裝置，用于燃燒經(jīng)堿式噴淋裝置噴淋后尾氣中殘余氫氣，以生成水蒸氣高空排放；以及沉淀物回收裝置；本實(shí)用新型通過(guò)將尾氣通入堿式噴淋裝置，與堿液充分反應(yīng)后即可完全去除尾氣中氟化氫和其他殘余有害氟化物，生成不溶于水的氟化鈣沉淀物回收利用，尾氣中殘余的氫氣通入燃燒裝置，充分燃燒后生成水蒸氣，高空排放，實(shí)現(xiàn)對(duì)有害尾氣無(wú)污染、安全處理，并且能夠滿足資源可循環(huán)利用需求。