一種OLED蒸鍍設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711291603.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN107805784B 公開（公告）日 2018-12-21
申請公布號(hào) CN107805784B 申請公布日 2018-12-21
分類號(hào) C23C14/26;C23C14/12;C23C14/56;H01L51/56 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曹云娟 申請（專利權(quán)）人 成都鴻睿光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市臺(tái)商投資區(qū)百崎鄉(xiāng)后海村(通海公路與杏秀公路交匯處)福隆花園1#商住樓2207室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種OLED蒸鍍設(shè)備，包括沿水平方向前后分別設(shè)置的蒸鍍工作裝置和OLED基板送入裝置，OLED基板送入裝置具有與分隔環(huán)固定連接的空心電機(jī)外座，在空心電機(jī)外座的中心設(shè)有空心轉(zhuǎn)動(dòng)杯，空心轉(zhuǎn)動(dòng)杯的前端與分隔環(huán)的內(nèi)環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，在空心轉(zhuǎn)動(dòng)杯的中心設(shè)有旋轉(zhuǎn)端蓋，在旋轉(zhuǎn)端蓋的前端設(shè)有OLED基板固定裝置。本發(fā)明利用了離心的原理和空心軸電機(jī)結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)，改變原有的對基本平鋪式排布的設(shè)計(jì)，變?yōu)榄h(huán)形筒狀的排布，使得單個(gè)真空腔室內(nèi)可以容納更多的OLED基板，同時(shí)通過OLED基板的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生類似于離心的作用，使得真空腔室內(nèi)的蒸鍍材料分子撞擊基板的力度顯著提升，在生產(chǎn)效率增加的同時(shí)還能夠提升鍍膜的均勻程度，整體結(jié)構(gòu)密閉性好，降低污染的泄露。