一種光學(xué)元件表面缺陷檢測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210278836.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114689596A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114689596A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 裴寧;王大森;聶鳳明;張旭;夏超翔;黃思玲;李曉靜;郭海林;趙仕燕;范愛國(guó);王雷;李維杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國(guó)兵器科學(xué)研究院寧波分院 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 寧波誠(chéng)源專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 315103浙江省寧波市高新區(qū)凌云路199號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種光學(xué)元件表面缺陷檢測(cè)裝置，包括有：激光光源模塊，用于發(fā)出激光光束并入射到待檢測(cè)光學(xué)元件的表面；成像模塊，用于收集散射光以形成檢測(cè)圖像；其特征在于：還包括：隔振平臺(tái)，所述激光光源模塊和成像模塊均放置于該隔振平臺(tái)上，用于在激光光源模塊和成像模塊掃描運(yùn)動(dòng)時(shí)隔離外界引起的振動(dòng)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：通過設(shè)置隔振平臺(tái)隔離激光光源模塊和成像模塊掃描運(yùn)動(dòng)時(shí)外界引起的振動(dòng)，從而能減小外界擾動(dòng)對(duì)系統(tǒng)的檢測(cè)靈敏度和重復(fù)性造成影響，進(jìn)而提高缺陷檢測(cè)的抗干擾能力。因此該缺陷檢測(cè)裝置的檢測(cè)靈敏度高且檢測(cè)準(zhǔn)確率高。 |
