一種光學元件表面缺陷檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210278836.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114689596A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114689596A 申請公布日 2022-07-01
分類號 G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 裴寧;王大森;聶鳳明;張旭;夏超翔;黃思玲;李曉靜;郭海林;趙仕燕;范愛國;王雷;李維杰 申請（專利權）人 中國兵器科學研究院寧波分院
代理機構 寧波誠源專利事務所有限公司 代理人 -
地址 315103浙江省寧波市高新區(qū)凌云路199號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種光學元件表面缺陷檢測裝置，包括有：激光光源模塊，用于發(fā)出激光光束并入射到待檢測光學元件的表面；成像模塊，用于收集散射光以形成檢測圖像；其特征在于：還包括：隔振平臺，所述激光光源模塊和成像模塊均放置于該隔振平臺上，用于在激光光源模塊和成像模塊掃描運動時隔離外界引起的振動。本發(fā)明的優(yōu)點在于：通過設置隔振平臺隔離激光光源模塊和成像模塊掃描運動時外界引起的振動，從而能減小外界擾動對系統(tǒng)的檢測靈敏度和重復性造成影響，進而提高缺陷檢測的抗干擾能力。因此該缺陷檢測裝置的檢測靈敏度高且檢測準確率高。