一種對(duì)應(yīng)基板漲縮的自動(dòng)位置補(bǔ)償分布植球方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011224515.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112349598A | 公開（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112349598A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-06 |
| 分類號(hào) | H01L21/48;H01L21/67 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 梁猛;石洋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 技感半導(dǎo)體設(shè)備（南通）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海遠(yuǎn)同律師事務(wù)所 | 代理人 | 張堅(jiān) |
| 地址 | 226000 江蘇省南通市開發(fā)區(qū)蘇通科技產(chǎn)業(yè)園江成路1088號(hào)江成研發(fā)園1號(hào)樓1529-145室（CSSD） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種對(duì)應(yīng)基板漲縮的自動(dòng)位置補(bǔ)償分布植球方法，包括以下步驟：通過相機(jī)對(duì)植球臺(tái)上的基板進(jìn)行拍照，計(jì)算出基板外形尺寸相對(duì)基板標(biāo)準(zhǔn)尺寸的整體漲縮量；根據(jù)基板上植球孔的孔徑計(jì)算出最大允許漲縮量，根據(jù)最大允許漲縮量將基板分為多個(gè)植球孔分布位置相同的區(qū)域，使每個(gè)區(qū)域的漲縮量均小于最大允許漲縮量；通過相機(jī)對(duì)區(qū)域依次進(jìn)行位置定位；通過印刷頭往定位后的區(qū)域上依次點(diǎn)膠；通過植球頭往定位后的區(qū)域上依次植球。本發(fā)明能夠?qū)暹M(jìn)行分區(qū)域植球，由于每個(gè)單獨(dú)的區(qū)域因漲縮造成的漲縮量相比整個(gè)基板因漲縮造成的漲縮量更低，可以更精準(zhǔn)的進(jìn)行對(duì)位，因此通過對(duì)各個(gè)區(qū)域單獨(dú)進(jìn)行定位植球，可以提高植球工序的良品率。 |
