一種對應(yīng)基板漲縮的自動位置補償分布植球方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011224515.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112349598A 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN112349598A 申請公布日 2021-07-06
分類號 H01L21/48;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁猛;石洋 申請（專利權(quán)）人 技感半導(dǎo)體設(shè)備（南通）有限公司
代理機構(gòu) 上海遠(yuǎn)同律師事務(wù)所 代理人 張堅
地址 226000 江蘇省南通市開發(fā)區(qū)蘇通科技產(chǎn)業(yè)園江成路1088號江成研發(fā)園1號樓1529-145室（CSSD）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種對應(yīng)基板漲縮的自動位置補償分布植球方法，包括以下步驟：通過相機對植球臺上的基板進(jìn)行拍照，計算出基板外形尺寸相對基板標(biāo)準(zhǔn)尺寸的整體漲縮量；根據(jù)基板上植球孔的孔徑計算出最大允許漲縮量，根據(jù)最大允許漲縮量將基板分為多個植球孔分布位置相同的區(qū)域，使每個區(qū)域的漲縮量均小于最大允許漲縮量；通過相機對區(qū)域依次進(jìn)行位置定位；通過印刷頭往定位后的區(qū)域上依次點膠；通過植球頭往定位后的區(qū)域上依次植球。本發(fā)明能夠?qū)暹M(jìn)行分區(qū)域植球，由于每個單獨的區(qū)域因漲縮造成的漲縮量相比整個基板因漲縮造成的漲縮量更低，可以更精準(zhǔn)的進(jìn)行對位，因此通過對各個區(qū)域單獨進(jìn)行定位植球，可以提高植球工序的良品率。