一種對(duì)應(yīng)基板漲縮的自動(dòng)位置補(bǔ)償分布植球裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022532744.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213150736U | 公開（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213150736U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號(hào) | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 梁猛;石洋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 技感半導(dǎo)體設(shè)備（南通）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海遠(yuǎn)同律師事務(wù)所 | 代理人 | 張堅(jiān) |
| 地址 | 226000江蘇省南通市開發(fā)區(qū)蘇通科技產(chǎn)業(yè)園江成路1088號(hào)江成研發(fā)園1號(hào)樓1529-145室（CSSD） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種對(duì)應(yīng)基板漲縮的自動(dòng)位置補(bǔ)償分布植球裝置，包括底板、設(shè)于所述底板上的用于放置基板的植球臺(tái)、設(shè)于所述植球臺(tái)上方的位移機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述位移機(jī)構(gòu)上的印刷頭、植球頭與對(duì)位機(jī)構(gòu)，所述印刷頭包括能夠?qū)λ龌迳夏z的印刷治具，所述植球頭能夠?qū)λ龌逯睬虻闹睬蛑尉?，所述?duì)位機(jī)構(gòu)能夠?qū)λ龌暹M(jìn)行定位，所述對(duì)位機(jī)構(gòu)能夠?qū)λ龌迳现睬蚩孜恢梅植枷嗤亩鄠€(gè)區(qū)域分別進(jìn)行定位，所述印刷治具底部具有與所述區(qū)域植球孔位置分布相同的膠針，所述植球治具底部具有與所述區(qū)域植球孔位置分布相同的第一真空吸孔。本實(shí)用新型能夠?qū)Ω鱾€(gè)區(qū)域單獨(dú)進(jìn)行定位植球，進(jìn)而提高植球工序的良品率。解決大面積基板植球工藝良品率低的缺陷。?? |
