用于真空設(shè)備破空管路的分流裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921059466.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210506502U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-05-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210506502U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-05-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/22;H01L31/18 | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 梁偉;陳培專(zhuān);李仁龍;魏昌華;高翔 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 綿陽(yáng)皓華光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 綿陽(yáng)金能移動(dòng)能源有限公司 |
| 地址 | 621000 四川省綿陽(yáng)市涪城區(qū)鳳凰中路8號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于真空設(shè)備破空管路的分流裝置，包括：用于向真空腔室內(nèi)輸入破空氣體的破空管道；設(shè)置在破空管道上以切換其工作狀態(tài)的破空閥；設(shè)置于真空腔室內(nèi)以實(shí)現(xiàn)破空的多個(gè)分流管；其中，所述破空管道在與各分流管相配合的一端設(shè)置有用于分流的轉(zhuǎn)接頭。本實(shí)用新型還有一個(gè)目的是提供一種用于真空設(shè)備破空管路的分流裝置，其能夠在進(jìn)入真空腔室的一端通過(guò)配置多個(gè)分流管，使得破空氣體經(jīng)過(guò)各分流管分流后再進(jìn)入腔體，減少對(duì)產(chǎn)品的沖擊，保證產(chǎn)品質(zhì)量，且整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于實(shí)施。 |
