一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽能電池磁控濺射設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921160422.X 申請日 -
公開（公告）號 CN210560712U 公開（公告）日 2020-05-19
申請公布號 CN210560712U 申請公布日 2020-05-19
分類號 C23C14/35;C23C14/56;H01L21/67;H01L31/18;H01L21/677 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉行健;陳培專;李仁龍;魏昌華;高翔 申請（專利權）人 綿陽皓華光電科技有限公司
代理機構 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 代理人 綿陽金能移動能源有限公司
地址 621000 四川省綿陽市涪城區(qū)鳳凰中路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽能電池磁控濺射設備，包括：腔室，其頂端的內(nèi)表面上固定焊接有一組平行的導軌；腔門，其與腔室可實現(xiàn)密閉相連，所述腔門外設置有凸起的容納腔，所述凸起的容納腔能夠容納腔室外部的導軌，所述腔門外的底端連接有支撐板；連接板，其一個面上設置有一組支撐桿，所述支撐桿上均設置有第一滾輪，所述第一滾輪與導軌相互卡合滾動連接；收卷輥和放卷輥，其對稱且可轉動連接在連接板和腔門上，所述連接板和腔門間可轉動連接有鍍膜輥，所述收卷輥、放卷輥和鍍膜輥上連接有卷材。本實用新型的一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽能電池磁控濺射設備具有操作簡單，節(jié)省換靶時間，占用空間小的優(yōu)點。