一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921160422.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210560712U 公開(kāi)（公告）日 2020-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN210560712U 申請(qǐng)公布日 2020-05-19
分類號(hào) C23C14/35;C23C14/56;H01L21/67;H01L31/18;H01L21/677 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉行健;陳培專;李仁龍;魏昌華;高翔 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 綿陽(yáng)皓華光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 綿陽(yáng)金能移動(dòng)能源有限公司
地址 621000 四川省綿陽(yáng)市涪城區(qū)鳳凰中路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備，包括：腔室，其頂端的內(nèi)表面上固定焊接有一組平行的導(dǎo)軌；腔門(mén)，其與腔室可實(shí)現(xiàn)密閉相連，所述腔門(mén)外設(shè)置有凸起的容納腔，所述凸起的容納腔能夠容納腔室外部的導(dǎo)軌，所述腔門(mén)外的底端連接有支撐板；連接板，其一個(gè)面上設(shè)置有一組支撐桿，所述支撐桿上均設(shè)置有第一滾輪，所述第一滾輪與導(dǎo)軌相互卡合滾動(dòng)連接；收卷輥和放卷輥，其對(duì)稱且可轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接板和腔門(mén)上，所述連接板和腔門(mén)間可轉(zhuǎn)動(dòng)連接有鍍膜輥，所述收卷輥、放卷輥和鍍膜輥上連接有卷材。本實(shí)用新型的一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備具有操作簡(jiǎn)單，節(jié)省換靶時(shí)間，占用空間小的優(yōu)點(diǎn)。