一種用于真空鍍膜機(jī)的真空室

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921210194.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210367888U 公開(kāi)（公告）日 2020-04-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN210367888U 申請(qǐng)公布日 2020-04-21
分類(lèi)號(hào) C23C14/34;C23C14/56 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 胡向忠;陳培專(zhuān);李仁龍;魏昌華;高翔 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 綿陽(yáng)皓華光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 綿陽(yáng)金能移動(dòng)能源有限公司
地址 621000 四川省綿陽(yáng)市涪城區(qū)鳳凰中路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于真空鍍膜機(jī)的真空室，包括：真空腔體；波浪形遮擋板，其可拆卸連接在真空腔體的內(nèi)壁上；主傳動(dòng)輥，其設(shè)置在真空腔體的下部居中的位置；所述真空腔體的上部左右對(duì)稱(chēng)設(shè)置放卷輥和收卷輥；三個(gè)鍍膜靶材，其等距離地放置在主傳動(dòng)輥的外圓周?chē)?，且位于主傳?dòng)輥的下方；本實(shí)用新型將真空腔體內(nèi)部的遮擋板設(shè)置為波浪形遮擋板，其有效增加了擋板的整體面積，讓擋板能更好、更多的吸附靶材材料，減少保養(yǎng)次數(shù)，從而增加設(shè)備有效生產(chǎn)時(shí)間。