一種用于真空鍍膜機的真空室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921210194.2 申請日 -
公開（公告）號 CN210367888U 公開（公告）日 2020-04-21
申請公布號 CN210367888U 申請公布日 2020-04-21
分類號 C23C14/34;C23C14/56 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 胡向忠;陳培專;李仁龍;魏昌華;高翔 申請（專利權）人 綿陽皓華光電科技有限公司
代理機構 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 綿陽金能移動能源有限公司
地址 621000 四川省綿陽市涪城區(qū)鳳凰中路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于真空鍍膜機的真空室，包括：真空腔體；波浪形遮擋板，其可拆卸連接在真空腔體的內(nèi)壁上；主傳動輥，其設置在真空腔體的下部居中的位置；所述真空腔體的上部左右對稱設置放卷輥和收卷輥；三個鍍膜靶材，其等距離地放置在主傳動輥的外圓周圍，且位于主傳動輥的下方；本實用新型將真空腔體內(nèi)部的遮擋板設置為波浪形遮擋板，其有效增加了擋板的整體面積，讓擋板能更好、更多的吸附靶材材料，減少保養(yǎng)次數(shù)，從而增加設備有效生產(chǎn)時間。